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羅茨干泵實(shí)現(xiàn)最小的能源消耗和排放。

最好的清潔泵抽水，例如L/L和轉(zhuǎn)移室等。

適合于各種工具。

規(guī)格：

性能曲線指示圖：

日本樫山工業(yè)（KASHIYAMA）的產(chǎn)品在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和先進(jìn)的高科技行業(yè)中已經(jīng)榮獲了極高的評價與信賴。尤其是來自于半導(dǎo)體制造行業(yè)的信賴,這是日本樫山工業(yè)（KASHIYAMA）多年長期以來不斷開發(fā)進(jìn)取真空技術(shù)的結(jié)果。

日本樫山工業(yè)（KASHIYAMA）的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并在極高難度的制程發(fā)揮上獲得了客戶的高度信賴與評價。除了干式真空泵以外,魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備在廣泛的領(lǐng)域當(dāng)中發(fā)揮它的威力。

圖產(chǎn)品為日本樫山工業(yè)（KASHIYAMA）的干式真空泵MU-X 系列。

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日本樫山工業(yè)（KASHIYAMA）全系列泵產(chǎn)品：

SDE-TX系列： SDE120TX,SDE303TX,SDE603TX,SDE1203TX,SDE20M12TX,SDE30M12TX

SDE-X系列：SDE90X,SDE303X,SDE603X,SDE1203X,SDE20M09X,SDE30M09X

SDE系列： SDE1220,SDE20M20,SDE30M20,SDE4060,SDE4030M20,SDE8060, SDE804060

SDL系列：SDL12E50,SDL20E50,SDL36M60,SDL40E60,SDL40E201,SDL40EW201,SDL80201

MU-X系列：MU100X,MU180X,MU300X,MU600X, MU1200X, MU20M18X,MU-P/H

MU-P/H系列：MU100P/H,MU180P/H,MU300P/H,MU600P/H,MU1200P/H,MU20M18P/H

NeoDry系列:NeoDry7E,NeoDry15E,NeoDry30E, NeoDry36E,NeoDry60E,NeoDry300E

LEH系列：LEH30MA,LEH50MA, LEH100MA, LEH150MA, LEH200MA, LEH300MA

LEM系列：LEM3,LEM6,LEM20MA, LEM40MA